产品概述：

气体回收装置是用于处理和回收废气（氢气、二氧化碳、氩气、氦气等）的设备，通过多种技术协同实现工业废气中高价值气体的精准分离与循环利用，以降低生产成本、节约能源、提高经济效益的设备系统。根据不同情况，用膜分离技术、变压吸附技术工艺、以及催化燃烧的方式实现回收。收集废气进行预处理，然后进入纯化装置净化，降低氧含量、水等。例如氢气回收系统可用常压、增压不同压力下进行；氩气回收装置对区熔单晶硅炉排出的氩气进行回收，通过膜片压缩机稳压器进入氩气纯化装置进行处理，达到氩气提纯效果，可达59以上。

主要特点：
* 对气体的回收利用率更高
* 精良设计，使得能耗更低
* 智能控制系统实现参数自动调节
* 一键启停，全自动运行，操作维护简单

该回收系统的进气源自于回收的废氢及尾气氢，首先对其进行降温淋洗除尘，冷凝出废氢气中的大部分水份后进入罗茨风机进行增压；经风机加压处理后的废氢气进入氢气净化装置或PSA进行二次处理，使得气体的氧含量及露点降低到生产要求的指标；经净化后的氢气重新作为原料氢气循环往返使用。
1.膜分离技术
* 基于高分子膜或陶瓷膜的选择性渗透特性，通过压力差驱动实现气体组分分离。例如，油气回收中采用“吸收塔+膜组件+吸附罐”组合工艺，优先渗透轻组分（如烃类），截留重组分，回收率可达95%以上。
* 适用于VOCs（挥发性有机物）、氢气、二氧化碳等气体的回收，能耗较传统冷凝法降低30%。

2. 变压吸附（PSA）技术
* 利用吸附剂（如活性炭、分子筛）在不同压力下对气体的吸附能力差异，通过周期性加压吸附、减压脱附实现分离。例如，SF6/N2混合气体回收中，超低温高压固化法结合PSA，可将SF6纯度提升至99.9%。
* 适用于富氢尾气提纯（如焦炉煤气）、稀有气体回收，处理量灵活可调。

3. 催化燃烧技术
* 对可燃废气（如H₂、CH₄）进行高温催化氧化，将其转化为热能回用。例如，半导体行业废气处理中，燃烧腔温度≥1200℃，HCL、SiH4等处理效率>99%，同时副产物可溶于水，减少粉尘堵塞。

&主要特点：
* 高回收率：膜分离技术对CF4等氟化物处理效率>95%，PSA技术对氢气提纯纯度达99.999%
* 抗干扰能力：复合吸附剂（如活性炭+分子筛）可耐受H₂S、SO₂等毒物，适用于含硫废气处理。
* 低能耗设计：常温膜分离无需加热，PSA能耗仅为传统工艺的60%，催化燃烧余热回用率达70%。
* 智能控制：PLC+SCADA系统实时监测100+项参数，自动调节压力、温度，关键设备双机热备，保障7×24小时连续运行。
* 模块化设计：撬装式结构支持快速部署